머크 '랄프 다멜' 기술책임, 'SPIE 프리츠 제르니커 상' 수상

[양태훈기자] 머크 기능성 소재 사업부 최고기술책임자(CTO) 랄프 다멜 박사가 지난달 23일 열린 '2015 캘리포니아 광학 박람회(SPIE Advanced Lithography Exhibition 2015)' 에서 프리츠 제르니커(Frits Zernike) 어워드를 수상했다고 발표했다.

프리츠 제르니커 어워드는 매년 미세공정 기술, 특히 반도체 미세 회로 구현 솔루션에서 뛰어난 업적을 이룩한 개인에게 국제광학회(SPIE)가 수여하는 상이다.

다멜 박사는 반도체 초미세가공을 위한 포토레지스트, 반사방지코팅, 유도 자기조립(DSA) 소재 개발에 기여를 공로를 인정받아 올해의 수상자로 선정됐다. 다멜 박사는 화학과 초미세가공 분야에서 200여 건의 논문을 발표, 현재 90여 건의 관련 분야 특허를 보유하고 있다.

이번 상은 2015 심포지엄 공동 좌장인 브루스 스미스 로체스터공대 교수가 개회식에서 수여했다.

시상식 후 다멜 박사는 "SPIE에서 프리츠 제르니커 상을 받아 정말 영광스럽다"며 "앞서 미세공정 분야에서 수상한 모든 위대한 개발자들과 함께하게 돼 겸손한 마음이 든다"고 소감을 전했다.

한편, 다멜 박사는 지난 1986년부터 AZ 일렉트로닉 머티리얼즈 등에서 글로벌 연구개발(R&D) 디렉터, CTO 등을 맡아온 전문가. 지난해 머크의 AZ 인수 이후 미국 화학 사업 기술 책임자를 맡았다.