어플라이드, '핀펫·3D 낸드'용 전자빔 측정 장비 발표

[양태훈기자] 어플라이드머티어리얼즈(이하 어플라이드)가 24일 미국 캘리포니아 주 산호에서 진행된 국제광자공학(SPIE)의 첨단 리소그래피 컨퍼런스에서 업계 최초로 인라인 3차원(3D) 임계치수 주사전자현미경(CD SEM) '베리티SEM 5i'를 발표했다.

베리티SEM 5i는 최첨단 고해상도 이미징 및 임계치수(CD) 제어 인라인을 할 수 있는 후방산란전자(BSE) 기술을 제공, 핀펫(FinFet)과 3D 낸드 구조의 인라인을 측정해 모니터링 할 수 있는 기능을 지원한다.

어플라이드 측은 자사 베리티SEM 5i를 사용하는 칩 제조사들은 공정 개발 및 생산 램프의 속도향상 외에도 기기의 성능과 대량생산 수율 개선도 지원한다고 강조했다.

이타이 로젠펠드 어플라이드 공정진단관리부문 부사장은 "3D 기기 측정은 기존 임계치수 주사전자현미경 기술에 의존하는 것은 사실상 불가능하다"며 "(베리티SEM 5i) 시스템을 사용하는 고객사들이 새로운 3D 기기로 수율을 개선해 이익을 얻고 있다"고 말했다.