어플라이드, 8.5세대 패널 지원하는 증착장비 출시

[박계현기자] 반도체·디스플레이 장비업체인 어플라이드머티어리얼즈가 초고화질(UHD) TV와 초고해상도 태블릿PC·스마트폰용 패널 제작에 사용되는 물리기상증착(PVD) 및 플라즈마화학증착(PECVD) 장비를 출시했다고 31일 발표했다.

이번에 선보인 AKT-PX PECVD 시스템은 금속 산화막(metal-oxide)과 저온폴리실리콘(LTPS) 소재를 사용해 LCD∙OLED 기술용 박막 트랜지스터(TFT)를 제조하는 장비다.

어플라이드 AKT-PiVot™ PVD 시스템은 전자이동도가 높은 신소재인 산화물 반도체(IGZO)를 증착한 박막 트랜지스터를 생산한다. 이 제품은 초박층(highly uniform) 저온폴리실리콘 필름을 1.6 제곱미터(2세대)에서 5.7 제곱미터(8.5세대)까지 면적의 유리기판에 증착시킬 수 있다.

화학증착 장비는 패널에 박막 트랜지스터(TFT)를 균일하게 도포하는 역할을 하는데, 설비가 대형화될 경우 기계적∙공정적으로 난이도가 높아진다. 특히 대형 사이즈 패널을 제작할 경우 원가절감을 위해 TFT 안정도가 중요한데, 이 제품은 금속 산화막 백플레인을 사용해 안정성을 높였다.

어플라이드머티어리얼즈는 "초고해상도 태블릿과 TV용 패널을 제작하는데 사용되는 8.5세대 저온폴리용 CVD를 독보적으로 생산하고 있다"고 밝혔다.

또 각각의 패널은 증착 과정에서 다른 소재를 사용한다. 7~11인치 사이 태블릿의 경우 저온폴리 혹은 산화물 반도체를 사용한다. 또 대형 TV용 패널은 기존 LCD 혹은 산화물 반도체가 사용되며, 4~6인치 사이 초고해상도 스마트폰용 패널은 저온폴리 LCD 혹은 저온폴리 OLED로 생산되고 있다.

어플라이드머티어리얼즈 측은 "새로운 CVD/PVD 솔루션은 다양한 패널에서 요구되는 증착방식을 모두 지원할 수 있다"고 설명했다.

어플라이드머티어리얼즈 디스플레이 비즈니스 그룹 총괄 책임자 겸 부사장인 톰 에드만은 "디스플레이 산업은 박막 트랜지스터 기술의 혁신으로 말미암아 최근 20년 간 가장 중요한 기술 변화를 겪고 있다"며 "본사는 디스플레이 제조업체의 새로운 박막 적용 기술 혁신을 돕기 위해 검증된 시스템 포트폴리오를 개발하고 있다"고 말했다.