[아이뉴스24 민혜정 기자] 원익아이피에스가 진위 3산단 신규 사업장에서 '제미니' 장비를 첫 출하했다.
원익아이피에스는 '제미니'를 삼성전자 평택 고덕 사업장으로 첫 납품하고 이를 기념해 진위 3산단에서 기념식을 진행했다고 5일 밝혔다.
원익아이피에스는 행사에서 20여건의 장비 납품에 대한 납기일정 준수와 완성도 등에 대한 목표도 재확인했다.
제미니는 반사방지막과 하드마스크 절연막을 증착하는 데 쓰인다. 반도체 고객사에서는 20nm 이하 D램 공정 더블 패터닝(DPT), 쿼드패터닝(QPT) 등에 쓰고 있다.
박성기 사업총괄은 "진위 3산단 신공장 준공 이후 빠른 시일에 첫 출하가 될 수 있었던 것에 대해 임직원에 감사의 뜻을 전한다"며 "현재의 방향성을 유지한다면 글로벌 넘버원이라는 원익아이피에스의 목표에도 빠르게 도달할 수 있을 것"이라고 강조했다.
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